【日本電子】走査電子顕微鏡JSM-1／JSM-2、日本顕微鏡学会「顕微鏡遺産」に認定

　日本電子はこのほど、同社が開発したわが国の走査型電子顕微鏡開発の先駆けとなった走査電子顕微鏡「JSM-1型（1966年完成）」と「JSM-2型（67年完成）」が、公益社団法人日本顕微鏡学会（JSM）第3回「顕微鏡遺産」に認定されたと発表した。

　「顕微鏡遺産」は、JSMが2024年に創立75周年を記念して、顕微鏡学の発展に大きく貢献したエポックメーキングな技術や製品を文化遺産として後世に伝えることを目的とした認定制度となっている。

　同社は、1966年に国産の走査電子顕微鏡（SEM）最初の商品機JSM-1型を発表した。これは、世界初のSEM商品機であるCambridge Scientific Instruments社製のStereoScan発表からほぼ半年後だった。

　JSM-1型は50nmの分解能で、二次電子検出器としてEverhart-Thornley（ET）検出器、反射電子検出器として半導体検出器を採用、Electron Beam Induced Current（EBIC）像の観察も可能だった。最新SEMの原型と言える構成に当時の開発者の高い志が窺える。

　さらに同社は、67年に微細形状の観察に対応するため、分解能を50nmから25nmへ向上させたJSM-2型を発売した。JSM-2型は透過電子像、カソードルミネッセンス像、X線像まで観察できる機能を有し、分解能向上との相乗効果により、当時最先端の研究分野のみならず、材料系／半導体／バイオ系といった産業分野の研究開発部門で広く使用されるようになった。

　同社は、JSM-1型で当時の最先端SEMの地位を不動のものとし、さらにJSM-2型では、飽くなき探求心によってわが国の産業競争力向上に大きく貢献した。

　JSM-1型／JSM-2型は、当時世界で最も優れたSEMであり、国内外に販路を広げた。これは海外の先進国で「日本製品は低価格、低品質」と言われていた時代に画期的なことであり、工業国日本を世界に知らしめるスタートを切った装置と言える。

　なお、JSM-2型は2014年に一般社団法人日本分析工業会（JAIMA）第3回「分析機器・科学機器遺産認定」に選定されている。